[发明专利]一种晶硅太阳能电池叠层钝化的方法无效

专利信息
申请号: 201310108913.0 申请日: 2013-04-01
公开(公告)号: CN104091853A 公开(公告)日: 2014-10-08
发明(设计)人: 李士会 申请(专利权)人: 北京中科信电子装备有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 101111 北京市通*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供了一种实现晶体硅太阳能电池叠层钝化的方法。所述方法包括如下步骤:选用P型太阳能级硅片作为衬底;利用氢氟酸和硝酸混合溶液进行制绒;磷扩散;刻蚀去边;去除磷硅玻璃;利用混酸溶液对硅片进行氧化;利用PECVD制备减反射膜。该方法通过湿法氧化生长二氧化硅和PECVD生长氮化硅的方法,实现了叠层钝化。
搜索关键词: 一种 太阳能电池 钝化 方法
【主权项】:
一种晶硅太阳能电池叠层钝化工艺,其特征在于:利用湿法氧化的方式在硅片表面形成一定厚度的二氧化硅,之后进行氮化硅膜层沉积。
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