[发明专利]电致发光装置的制作方法及其电极基板的制作方法

摘要

一种电致发光装置的电极基板的制作方法包括下列步骤。于基板上形成至少一第一电极与至少一第二电极。形成一金属层，覆盖第一电极、第二电极以及基板。于金属层上形成一非结晶(amorphous)透明导电层。对非结晶透明导电层进行一图案化制程，以形成一非结晶透明导电图案。对非结晶透明导电图案进行一结晶化制程，以使非结晶透明导电图案转变为一结晶化透明导电图案。以结晶化透明导电图案为屏蔽，将未被结晶化透明导电图案覆盖的金属层移除，以于第一电极上形成至少一第一金属电极垫以及至少一金属辅助电极，并于第二电极上形成至少一第二金属电极垫。

主权项

一种电致发光装置的电极基板的制作方法，其特征在于，包括下列步骤：提供一基板；于该基板上形成至少一第一电极与至少一第二电极；形成一金属层，覆盖该第一电极、该第二电极以及该基板；于该金属层上形成一非结晶透明导电层；对该非结晶透明导电层进行一图案化制程，以形成一非结晶透明导电图案；对该非结晶透明导电图案进行一结晶化制程，以使该非结晶透明导电图案转变为一结晶化透明导电图案；以及以该结晶化透明导电图案为屏蔽，将未被该结晶化透明导电图案覆盖的该金属层移除，以于该第一电极上形成至少一第一金属电极垫以及至少一金属辅助电极，并于该第二电极上形成至少一第二金属电极垫。