[发明专利]描绘设备、描绘方法和制造物品的方法无效
| 申请号： | 201310113921.4 | 申请日： | 2013-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN103365116A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 村木真人;森田知之 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 罗银燕 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本公开内容涉及描绘设备、描绘方法和制造物品的方法。一种描绘设备基于构成描绘数据的多个描绘条带数据通过多个带电粒子射束执行与形成在基板上的压射区重叠的描绘。所述设备包括带电粒子光学系统和控制器，所述带电粒子光学系统被配置为产生多个带电粒子射束，所述控制器被配置为产生作为多个中间条带的数据的多个中间条带数据，所述多个中间条带中的相邻条带彼此重叠，获得关于压射区的变形的信息，并且基于关于变形的信息变换所述多个中间条带数据以产生所述多个描绘条带数据。 | ||
| 搜索关键词： | 描绘 设备 方法 制造 物品 | ||
【主权项】：
一种描绘设备，所述描绘设备被配置为基于构成描绘数据的多个描绘条带数据通过多个带电粒子射束执行与基板上形成的压射区重叠的描绘，所述设备包括：带电粒子光学系统，所述带电粒子光学系统被配置为产生所述多个带电粒子射束；以及控制器，所述控制器被配置为产生作为多个中间条带的数据的多个中间条带数据，所述多个中间条带中的相邻中间条带彼此重叠，并且所述控制器被配置为获得与压射区的变形有关的信息，并且基于与变形有关的所述信息变换所述多个中间条带数据以产生所述多个描绘条带数据。
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