[发明专利]物理量传感器及电子设备

摘要

本发明提供一种物理量传感器及电子设备，该物理量传感器在可动体的上下设置电容元件，且能减小从各个固定电极至外部端子为止的布线路径长度之差。该物理量传感器包括第一基板，其具备设置于第一基面上的第一固定电极部及贯穿表里的第一贯穿孔；第二基板，其具备设置于第二基面上的第二固定电极部及贯穿表里的第二贯穿孔，且以所述第一基面与所述第二基面对置的方式配置；可动体，其隔着间隙而配置在所述第一基板与所述第二基板之间，并具备与所述第一固定电极部及所述第二固定电极部对置的可动电极部，在所述第一贯穿孔中设置与所述第一固定电极部电连接的第一贯穿电极，在所述第二贯穿孔中设置与所述第二固定电极部电连接的第二贯穿电极。

主权项

一种物理量传感器，包括：第一基板，其具备设置于第一基面上的第一固定电极部，及贯穿基板表里的第一贯穿孔；第二基板，其具备设置于第二基面上的第二固定电极部，及贯穿基板表里的第二贯穿孔，且以所述第一基面与所述第二基面对置的方式而被配置；可动体，其被配置在所述第一基板与所述第二基板之间，并具备与所述第一固定电极部及所述第二固定电极部对置的可动电极部，在所述第一贯穿孔中，设置有与所述第一固定电极部电连接的第一贯穿电极，在所述第二贯穿孔中，设置有与所述第二固定电极部电连接的第二贯穿电极,所述可动电极部包括：第一可动电极部；第二可动电极部，其质量与所述第一可动电极部不同，所述可动体包括：轴部，其被设置在所述第一可动电极部与所述第二可动电极部之间，并形成了成为所述可动体的旋转轴的部分；固定部，其被配置于设置在所述轴部的开口部的内部，且通过设置于所述开口部内部的梁部而与所述轴部进行连结，并通过所述轴部而对所述可动体进行支承，通过所述固定部，所述可动体被固定于所述第一基体和所述第二基体的至少一方上。