[发明专利]显示面板以及其包含的薄膜晶体管基板的制备方法

摘要

本发明是有关于一种显示面板以及其包含的薄膜晶体管基板的制备方法，其中该显示面板包括一种薄膜晶体管基板，而该薄膜晶体管基板的制备过程中，是于源极及漏极与多晶硅层间形成一金属薄膜层，并于退火工艺中，同时掺杂以及活化多晶硅层，而形成金属硅化物，如此可降低显示面板整体的工艺温度于400℃以下。

主权项

一种显示面板，包括一薄膜晶体管基板，其中，该薄膜晶体管基板包括：一基板；一第一金属层，形成于该基板上；一绝缘层，形成于该基板以及该第一金属层上；一多晶硅层，形成于该绝缘层上；一第二金属层，形成于该多晶硅层及该绝缘层上；一金属薄膜层，形成于该第二金属层与该多晶硅层之间；以及一金属硅化物，形成于该多晶硅层与该金属薄膜层之间；其中该第二金属层包括一源极及一漏极，对应于该源极的该金属硅化物与对应该漏极的该金属硅化物间的距离介于1μm至20μm之间。