[发明专利]玻璃基板的缺角检测装置、具有该装置的干蚀刻机台及缺角检测方法无效
| 申请号： | 201310122618.0 | 申请日： | 2013-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN104103481A | 公开（公告）日： | 2014-10-15 |
| 发明（设计）人： | 曾瑞轩;林志明;刘峻承 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;G01N21/88 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 赵根喜;吕俊清 |
| 地址： | 201500 上海市金山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种玻璃基板的缺角检测装置、具有该装置的干蚀刻机台及缺角检测方法。缺角检测装置用于检测传送至进样室的玻璃基板是否存在缺角，该缺角检测装置包括两组缺角传感器和逻辑控制器，该两组缺角传感器分别位于该进样室的两侧，每一组缺角传感器均包括信号接收部和信号发送部，该两组缺角传感器对应于该玻璃基板的两边产生第一信号和第二信号，该逻辑控制器能够比对该第一信号和第二信号是否相同，若信号不同，则表示该玻璃基板存在缺角。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 检测 装置 具有 蚀刻 机台 方法 | ||
【主权项】：
一种缺角检测装置，用于检测传送至进样室的玻璃基板是否存在缺角，该缺角检测装置包括两组缺角传感器和逻辑控制器，该两组缺角传感器分别位于该进样室的两侧，每一组缺角传感器均包括信号接收部和信号发送部，该两组缺角传感器对应于该玻璃基板的两边产生第一信号和第二信号，该逻辑控制器能够比对该第一信号和第二信号是否相同，若信号不同，则表示该玻璃基板存在缺角。
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