[发明专利]用于蒸镀防污膜的蒸镀材料的吸附载体有效
申请号: | 201310128539.0 | 申请日: | 2013-04-15 |
公开(公告)号: | CN103205716A | 公开(公告)日: | 2013-07-17 |
发明(设计)人: | 小岛岳;秦燕詒;小林一博;唐健 | 申请(专利权)人: | 光驰科技(上海)有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/12;B22F3/16 |
代理公司: | 上海申蒙商标专利代理有限公司 31214 | 代理人: | 徐小蓉 |
地址: | 200444 上海市宝*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种用于蒸镀防污膜的蒸镀材料的吸附载体,所述吸附载体是金属粉末的烧结体,所述的金属粉末为选自铁、不锈钢、铜、铝中的一种或至少两种的金属混合物。本发明的优点是吸附载体本身不含杂质并能保证在高真空高温条件下镀膜过程中不会熔化产生杂质,并且不与所吸附承载的蒸镀材料发生化学反应;可以根据镀膜设备的需求选取热传导率适当的烧结原料,从而保证镀膜的均匀性;使用本发明提供的吸附载体进行真空蒸镀所得到的防污膜,耐摩擦性能大幅度提高,优于现有技术中的吸附载体蒸镀出来的防污膜。 | ||
搜索关键词: | 用于 防污 材料 吸附 载体 | ||
【主权项】:
一种用于蒸镀防污膜的蒸镀材料的吸附载体,其特征在于:所述吸附载体是金属粉末的烧结体,所述的金属粉末选自铁、不锈钢、铜、铝中的一种或至少两种。
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