[发明专利]感放射线性组合物、显示元件用层间绝缘膜以及其形成方法

摘要

本发明的目的在于提供一种具有更高的感度且能够形成表面硬度、耐溶剂性、耐热性以及电压保持率优异的显示元件用层间绝缘膜的感放射线性组合物，使用该感放射线性组合物而形成的显示元件用层间绝缘膜以及其形成方法。本发明的感放射线性组合物含有：[A]具有含有酸解离性基的结构单元(I)、含有聚合性基的结构单元(II)以及下述式(1)所表示的结构单元(III)的聚合物；以及[B]感放射线性酸产生剂。

主权项

1.一种感放射线性组合物，其特征在于含有：[A]具有含有酸解离性基的结构单元(I)、含有聚合性基的结构单元(II)及下述式(1)所表示的结构单元(III)的聚合物；以及[B]感放射线性酸产生剂：[化1]式(1)中，R¹为氢原子或者甲基；R²为碳数6～30的烷基、烯基、炔基或酰氧基烷基或者碳数4～30的交联环式烃基；其中，所述烷基、烯基、炔基、酰氧基烷基以及交联环式烃基所具有的氢原子的一部分可经羟基或羧基取代。