[发明专利]一种金属纳米颗粒掺杂石墨烯的制备方法有效
申请号: | 201310144209.0 | 申请日: | 2013-04-24 |
公开(公告)号: | CN103215548A | 公开(公告)日: | 2013-07-24 |
发明(设计)人: | 刘长江;连榕 | 申请(专利权)人: | 厦门烯成新材料科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/18 | 分类号: | C23C14/18;C23C14/24 |
代理公司: | 厦门市诚得知识产权代理事务所(普通合伙) 35209 | 代理人: | 程文敢 |
地址: | 361000 福建省厦门市*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明公开了一种金属纳米颗粒掺杂石墨烯的制备方法,包括如下步骤:将带金属衬底的石墨烯薄膜放置于真空镀膜机中,并抽真空至0.001Pa;加热石墨烯薄膜至100℃,并保持30min;将石墨烯薄膜降温至常温,加热放置在坩埚中的金属靶材对石墨烯薄膜表面进行金属沉积;监测金属沉积厚度至达到所需厚度时,进氩气破真空,获得具有金属纳米颗粒掺杂的石墨烯薄膜。本发明所述的制备方法,采用真空蒸镀的方法,在石墨烯薄膜表面蒸镀上金属纳米颗粒,利用石墨烯与金属纳米颗粒之间的功函数差异,使它们之间发生电子交换,进而改变石墨烯薄膜的费米面,实现石墨烯薄膜的载流子浓度和极性的调控。 | ||
搜索关键词: | 一种 金属 纳米 颗粒 掺杂 石墨 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种金属纳米颗粒掺杂石墨烯的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:将带金属衬底的石墨烯薄膜放置于真空镀膜机中,并抽真空至0.001Pa;加热石墨烯薄膜至100℃,并保持30min;将石墨烯薄膜降温至常温,加热放置在坩埚中的金属靶材对石墨烯薄膜表面进行金属沉积;监测金属沉积厚度至达到所需厚度时,进氩气破真空,获得具有金属纳米颗粒掺杂的石墨烯薄膜。
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