[发明专利]可见近红外谱段反射和红外多谱段透过分色片及制备方法

摘要

本发明涉及可见近红外谱段反射和红外多谱段透过分色片及制备方法，属于表面技术领域。该分色片包括硒化锌基底及基底一侧膜系；膜系结构为（0.3h0.6l0.3h）^10（0.38h0.76l0.38h）^10（0.5hl0.5h）^12，中心波长为890nm，h和l分别为硫化锌和氟化钇膜层；通过在真空中加热基底，用离子束轰击基底，用离子束辅助电子枪蒸发法分别在基底两侧沉积所述膜系，冷却后制得。该分色片在0.43～0.90μm反射率高，1.55～1.75μm、2.08～2.35μm、3.5～5.5μm、7.8～10μm和11.08～12.55μm透过率高，满足遥感探测系统的分光使用要求。

主权项

一种可见近红外谱段反射和红外多谱段透过分色片，其特征在于：所述分色片包括硒化锌基底和基底一侧的膜系；膜系包括交替叠加的硫化锌膜层和氟化钇膜层，结构为：（0.3h0.6l0.3h）^10（0.38h0.76l0.38h）^10（0.5hl0.5h）^12，中心波长为890nm；h为硫化锌膜层，0.3h代表硫化锌膜层厚度为0.3个基本厚度，0.38h代表硫化锌膜层厚度为0.38个基本厚度，0.5h代表硫化锌膜层厚度为0.5个基本厚度，l为氟化钇膜层，0.6l代表氟化钇膜层厚度为0.6个基本厚度，0.76l代表氟化钇膜层厚度为0.76个基本厚度，l代表氟化钇膜层厚度为1个基本厚度，所述基本厚度为光学厚度中心波长的四分之一；基本膜堆（0.3h0.6l0.3h）和基本膜堆（0.38h0.76l0.38h）的周期数为10，基本膜堆（0.5hl0.5h）的周期数为12。