[发明专利]基于XML的半导体装备的工艺配方文档处理系统

摘要

本发明提出一种基于XML的半导体装备的工艺配方文档处理系统，包括下位机组，下位机组与装备的各工艺单元相连，用于接收和存储当前工艺配方，并根据当前工艺配方的参数控制各工艺单元的正常运行；上位机，上位机与下位机组相连，用于根据工艺需求创建、编辑和保存工艺配方文档，并对工艺配方文档进行解析，以将解析后的工艺配方内容下载到下位机组中。在上位机中，所有工艺配方文档均以XML文件格式处理，工艺人员可利用处理系统的图形用户界面对工艺配方文档进行各项常规性操作。本发明实施例的处理系统便于管理半导体装备工艺配方文档，省时省力、防止人为出错且节约人工成本。

主权项

一种基于XML的半导体装备的工艺配方文档处理系统，其特征在于，包括：下位机组，所述下位机组与装备的各工艺单元相连，用于接收和存储当前工艺配方，并根据当前工艺配方的参数控制各工艺单元的正常运行；上位机，所述上位机与所述下位机组相连，用于根据工艺需求管理工艺配方文档，并可对文档进行解析，将解析后的工艺配方内容下载到下位机组中，其中，所述上位机进一步包含OPC服务器和客户端，所述OPC服务器配置所述下位机组信息以实现所述OPC服务器与所述下位机组的通讯，其中，所述下位机组信息包括各个下位机的名称和地址，所述客户端与所述OPC服务器通讯，基于所述客户端，工艺人员利用处理系统的图形用户界面可实时访问OPC服务器，并将工艺配方内容下载到下位机组中，如果工艺配方不变，无需重复下载，其中，所述处理系统的图形用户界面包括：文档编辑子界面和文档下载子界面，其中，工艺人员登陆编辑子界面后可进行工艺配方的建立、编辑、打开和保存操作，不同工艺单元的配方对应各自不同的编辑子界面及表格，工艺人员在编辑表格中完成参数的输入和修改，工艺人员登陆下载子界面后可进行工艺配方的下载操作，其中，所述工艺配方文档为XML格式的文档，且全部保存在上位机中系统指定的文件夹下，方便工艺人员随时调取与修改工艺配方文档内容，对所述工艺配方文档进行解析时，将所述工艺配方文档解析为DOM文档对象模型，并从所述DOM文档对象模型中提取元素、属性和注释，以根据所述元素和属性得到所述工艺配方内容。