[发明专利]避免直拉法石英坩埚渗硅的硅料融化加热工艺无效
| 申请号： | 201310162976.4 | 申请日： | 2013-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN103233264A | 公开（公告）日： | 2013-08-07 |
| 发明（设计）人： | 高阳;徐国军;何俊;刘安军 | 申请（专利权）人： | 江苏海翔化工有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B15/14 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213200 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及单晶硅制备技术领域，尤其涉及一种避免直拉法石英坩埚渗硅的硅料融化加热工艺，包括如下步骤：1）装料：将硅料装入石英坩埚内；2）热系统加热化料：先是石英坩埚软化加热阶段：25-80KW加热180-390分钟，然后是硅料加热融化阶段：70-105KW加热60-180分钟。本发明的有益效果是，本发明的避免直拉法石英坩埚渗硅的硅料融化加热工艺，通过逐步提高加热温度，使石英坩埚软化更加完全，与外部的石墨坩埚贴合，可保证硅料融化塌料时冲击力较小，避免未融化的硅料撞击石英坩埚后(特别是石英坩埚底部弧面)发生渗硅现象。 | ||
| 搜索关键词： | 避免 直拉法 石英 坩埚 融化 加热 工艺 | ||
【主权项】：
一种避免直拉法石英坩埚渗硅的硅料融化加热工艺，其特征在于，包括如下步骤：1）装料：将硅料装入石英坩埚内；2）热系统加热化料：先是石英坩埚加热软化阶段：分为3‑6个温度递增的加热软化阶段，每个加热软化阶段的功率为25‑80KW，加热时间为20‑80分钟；然后是硅料加热融化阶段：功率为70‑105KW，加热时间为60‑180分钟。
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