[发明专利]有机层沉积设备、有机发光显示装置及其制造方法

摘要

本发明提供了一种有机层沉积设备、一种利用该有机层沉积设备制造有机发光显示装置的方法和一种利用该方法制造的有机发光显示装置，具体地讲，本发明提供了一种适用于在大基底的批量生产中使用的以及能够高分辨率地图案化的有机层沉积设备、利用该有机层沉积设备制造有机发光显示装置的方法以及利用所述方法制造的有机发光显示装置。有机层沉积设备包括输送单元、加载单元、沉积单元和卸载单元。

主权项

一种有机层沉积设备，所述有机层沉积设备包括：输送单元，包括用于固定基底并且被构造为与所述基底一起移动的传送单元、用于将其上固定有基底的传送单元沿着第一方向移动的第一输送单元和用于在已经完成沉积之后将基底从其分开的传送单元沿着与第一方向相反的方向移动的第二输送单元；加载单元，将基底固定在传送单元上；沉积单元，包括保持在真空状态下的室以及用于在固定在从加载单元传送的传送单元上的基底上沉积有机层的有机层沉积组件；以及卸载单元，用于将在穿过沉积单元的同时已经对其完成了沉积的基底与传送单元分开，其中，传送单元被构造为在第一输送单元和第二输送单元之间循环移动，其中，固定在传送单元上的基底被构造为在被第一输送单元传送的同时与有机层沉积组件分隔开设定距离，其中，有机层沉积组件包括图案化缝隙片，图案化缝隙片包括沿着一个方向布置的多个图案化缝隙，其中，第一输送单元和第二输送单元被构造为穿过沉积单元，其中，传送单元包括被构造为通过第一输送单元和第二输送单元移动的运送器和固定地结合到运送器以固定基底的静电卡盘，其中，磁轨位于运送器的表面上，第一输送单元和第二输送单元中的每个包括多个线圈，其中，磁轨和所述多个线圈结合在一起来构成用于产生使传送单元移动的驱动力的操作单元，其中，传送单元在所述室中以不与第一输送单元接触的方式被传送。