[发明专利]陀螺传感器和电子设备

摘要

本发明提供一种能够在实现小型化的同时具有较高的检测精度的陀螺传感器。在本发明所涉及的陀螺传感器(100)中，包括基板(10)；被配置在所述基板(10)上的第一功能元件(101)、第二功能元件(102)以及第三功能元件(103)，在第一功能元件(101)、第二功能元件(102)及第三功能元件(103)中的相邻的功能元件中，一个功能元件的振动体的振动方向、和另一个功能元件的可动体的位移方向为不同方向，一个功能元件的可动体的位移方向、和另一个功能元件的振动体的振动方向为不同方向。

主权项

一种陀螺传感器，包括：基板；第一功能元件、第二功能元件以及第三功能元件，其以直线状被配置在所述基板上，所述第一功能元件具备：第一振动体，其在第一轴的方向上振动；第一可动体，其被所述第一振动体支承，并根据以与所述第一轴正交的第二轴为轴的角速度，而在与所述第一轴和所述第二轴正交的第三轴的方向上进行位移，所述第二功能元件具备：第二振动体，其在所述第二轴的方向上振动；第二可动体，其被所述第二振动体支承，并根据以所述第一轴为轴的角速度，而在所述第三轴的方向上进行位移，所述第三功能元件具备：第三振动体，其在所述第一轴的方向或所述第二轴的方向上振动；第三可动体，其被所述第三振动体支承，并根据以所述第三轴为轴的角速度，而在与所述第三振动体的振动方向和所述第三轴的方向正交的方向上进行位移，在所述第一功能元件、所述第二功能元件及所述第三功能元件中，位于中央的功能元件的振动体的振动方向、和位于两侧的两个功能元件的可动体的位移方向为不同方向，位于中央的功能元件的可动体的位移方向、和位于两侧的两个功能元件的振动体的振动方向为不同方向。