[发明专利]排气加热装置

摘要

本发明提供不需要较大的设置空间的紧凑型的排气加热装置。排气加热装置（14）用于对含有自处理装置的处理容器排出的未反应的处理气体的排气进行加热，其包括：加热容器（20），用于加热排气；内部壁（22），将加热容器内划分为中央的第1气体流通空间（31）和第2气体流通空间（32），该第2气体流通空间面对加热容器的外周壁并围绕第1气体流通空间；气体导入部（23），其向第1气体流通空间（31）导入排气；气体排出部（25），其将排气自第2气体流通空间排出；连通部（33），其用于将第1气体流通空间与第2气体流通空间连通；以及加热器（26），其设于第1气体流通空间内，对在第1气体流通空间中流动的排气进行加热。

主权项

一种排气加热装置，其用于对含有自气体处理装置的处理容器排出的未反应的处理气体的排气进行加热，该气体处理装置利用处理气体进行规定处理，该排气加热装置的特征在于，该排气加热装置包括：加热容器，其用于对排气进行加热；内部壁，其用于将上述加热容器内划分为中央的第1气体流通空间和第2气体流通空间，该第2排气流通空间面对上述加热容器的外周壁并围绕上述第1排气流通空间；气体导入部，其用于向上述第1气体流通空间导入排气；气体排出部，其用于将排气自上述第2气体流通空间排出；连通部，其用于将上述第1气体流通空间与上述第2气体流通空间连通；以及加热部件，其设置于上述第1气体流通空间内，用于对在上述第1气体流通空间中流动的排气进行加热。