[发明专利]一种起爆序列用V型结构MEMS执行器

摘要

一种起爆序列用V型结构MEMS执行器，包括单晶硅衬底，将单晶硅结构层与生长了二氧化硅绝缘层的单晶硅衬底键合，金属电极层沉积在单晶硅结构层上，MEMS执行器在单晶硅结构层中制作，MEMS执行器包括锚点，成阵列结构的V型梁热电驱动单元的两端与锚点连接，中间臂位于V型梁热电驱动单元的中间并相互固定，柔性梁的两端分别与中间臂和杠杆的首端相连接，隔板制作在杠杆的末端，将加速膛孔挡住，本发明利用了硅材料的热电效应与热膨胀效应，具有低成本、高智能、易集成的特点。

主权项

一种起爆序列用V型结构MEMS执行器，包括单晶硅衬底（1），其特征在于：单晶硅衬底（1）上制作有直径为150～180um的加速膛孔（5），二氧化硅绝缘层（2）在单晶硅衬底（1）上生长，生长厚度为2～3um，将单晶硅结构层（3）与生长了二氧化硅绝缘层（2）的单晶硅衬底（1）键合，单晶硅结构层（3）的厚度为50～100um，金属电极层（4）沉积在单晶硅结构层（3）的锚点（3‑2）上；MEMS执行器在单晶硅结构层（3）中制作，MEMS执行器包括锚点（3‑2），成阵列结构的V型梁热电驱动单元（3‑3）的两端与锚点（3‑2）连接，中间臂（3‑4）位于V型梁热电驱动单元（3‑3）的中间并相互固定，柔性梁（3‑5）的两端分别与中间臂（3‑4）和杠杆（3‑1）的首端相连接，隔板（3‑6）制作在杠杆（3‑1）的末端，隔板（3‑6）将加速膛孔（5）挡住；所述的MEMS执行器是除去与锚点（3‑2）键合的部分，其余的二氧化硅绝缘层（2）将被腐蚀掉，使杠杆（3‑1）、V型梁热电执行器（3‑3）、中间臂（3‑4）、柔性梁（3‑5）以及隔板（3‑6）悬空，形成最终的可动结构。