[发明专利]显示面板及其制作方法

摘要

本发明提供一种显示面板及其制作方法。本发明的显示面板包括连接电极。连接电极系与薄膜晶体管的栅极由同一道光罩形成，且薄膜晶体管的漏极系经由连接电极与画素电极电性连接。因此，连接电极不需利用额外制程加以制作，且连接电极可避免画素电极于蚀刻介电层时受到损伤。显示面板的薄膜晶体管的源极掺杂区与漏极掺杂区、储存电容下电极以及画素电极可利用同一道灰阶光罩加以形成。

主权项

一种制作显示面板的方法，包括：提供一基板，该基板具有一画素区以及一第一薄膜晶体管区；于该基板上形成一图案化半导体层，该图案化半导体层包括一第一第一半导体图案，设置于该第一薄膜晶体管区内；于该基板上形成一绝缘层，其中该绝缘层覆盖该图案化半导体层；于该绝缘层上形成一第一图案化导电层，该第一图案化导电层包括一画素电极，设置于该画素区内；于该绝缘层上形成一第二图案化导电层，该第二图案化导电层包括：一第一栅极，设置于该第一薄膜晶体管区内，其中在一垂直投影方向上该第一栅极部分重叠该第一半导体图案；以及一转接电极，设置于该画素区内，其中一部分的该转接电极与该画素电极接触并在该垂直投影方向上部分重叠该画素电极，而另一部分的该转接电极位于该绝缘层的表面且在该垂直投影方向上未与该画素电极重叠；于在该垂直投影方向上与该第一栅极未重叠的该第一半导体图案中形成一第一掺杂区与一第二掺杂区，其中该第一掺杂区与该第二掺杂区具有一第一掺杂类型；形成一介电层覆盖该绝缘层、该画素电极与该第二图案化导电层，并于该介电层与该绝缘层中形成一第一开口暴露出该第一掺杂区以及一第二开口暴露出该第二掺杂区，以及于该介电层中形成一第三开口暴露出该转接电极；以及于该介电层上形成一第三图案化导电层，该第三图案化导电层包括：一第一源极，填入该第一开口并与该第一掺杂区电性连接；以及一第一漏极，填入该第二开口并与该第二掺杂区电性连接以及填入该第三开口与该转接电极电性连接。