[发明专利]曝光机曝光路径的检测方法及应用其的曝光方法无效
| 申请号： | 201310183605.4 | 申请日： | 2013-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN104166313A | 公开（公告）日： | 2014-11-26 |
| 发明（设计）人： | 张鸿明 | 申请（专利权）人： | 川宝科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市浩天知识产权代理事务所 11276 | 代理人： | 宋菲;刘云贵 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种曝光机曝光路径的检测方法及应用其的曝光方法，其可提升曝光机曝光的准确度。本发明主要利用处理单元、直线移动距离测量单元、影像撷取单元及标准基板，标准基板设有具有多个标记的标记组，这些标记沿直线方向间隔排列，影像撷取单元与标准基板沿直线方向相对移动，以使处理单元产生这些标记的测量位置组，之后使感光电路板与曝光装置沿直线方向相对移动，并使曝光装置依照这些测量位置组对感光电路板曝光。由此，本发明可提升曝光机曝光的准确度进而提升电路板的制造合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 路径 检测 方法 应用 | ||
【主权项】：
一种曝光机曝光路径的检测方法，其特征在于，包含下列步骤：A.提供处理单元、直线移动距离测量单元及至少一个影像撷取单元于该曝光机，及提供标准基板，该标准基板上布设有至少一个标记组，该标记组具有多个标记，这些标记沿直线方向间隔排列；B.放置该标准基板于该曝光机的承载台上；C.使该影像撷取单元与该标准基板沿该直线方向相对移动；以及D.使该直线移动距离测量单元传送该承载台或该曝光机的至少一个曝光装置的直线移动距离至该处理单元，使该影像撷取单元传送这些标记的影像至该处理单元，以使该处理单元产生这些标记的测量位置组。
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