[发明专利]晶片封装体及其形成方法有效
申请号: | 201310184941.0 | 申请日: | 2013-05-17 |
公开(公告)号: | CN103426856A | 公开(公告)日: | 2013-12-04 |
发明(设计)人: | 张恕铭;黄郁庭;刘沧宇;何彦仕 | 申请(专利权)人: | 精材科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/498 | 分类号: | H01L23/498;H01L23/544;H01L21/60 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇 |
地址: | 中国台湾桃园县中*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明提供一种晶片封装体及其形成方法,该晶片封装体包括:一第一基底;一第二基底,设置于该第一基底之上,其中该第二基底包括一下半导体层、一上半导体层、及该下半导体层与该上半导体层之间的一绝缘层,且该下半导体层的一部分电性接触该第一基底上的至少一接垫;一导电层,设置于该第二基底的该上半导体层之上,且电性连接该下半导体层的与该至少一接垫电性接触的该部分;一开口,自该上半导体层朝该下半导体层延伸并延伸进入该下半导体层;以及一保护层,设置于该上半导体层及该导电层之上,其中该保护层延伸至该开口的部分侧壁上,且不覆盖该开口中的该下半导体层。 | ||
搜索关键词: | 晶片 封装 及其 形成 方法 | ||
【主权项】:
一种晶片封装体,其特征在于,包括:一第一基底;一第二基底,设置于该第一基底之上,其中该第二基底包括一下半导体层、一上半导体层、及该下半导体层与该上半导体层之间的一绝缘层,且该下半导体层的一部分电性接触该第一基底上的至少一接垫;一导电层,设置于该第二基底的该上半导体层之上,且电性连接该下半导体层的与该至少一接垫电性接触的该部分;一开口,自该上半导体层朝该下半导体层延伸并延伸进入该下半导体层;以及一保护层,设置于该上半导体层及该导电层之上,其中该保护层延伸至该开口的部分侧壁上,且不覆盖该开口中的该下半导体层。
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