[发明专利]自动调节灰度的检出系及方法有效
| 申请号： | 201310187599.X | 申请日： | 2013-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN103268028A | 公开（公告）日： | 2013-08-28 |
| 发明（设计）人： | 王耸;苏九端;吴洪江;方群 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种自动调节灰度的检出系及方法，检出系包括检出镜头，所述检出镜头用于采集掩膜版上的掩膜对位标记和玻璃基板上的基板对位标记的图像形成掩膜对位图像和基板对位图像，在检出镜头形成基板对位图像的光路上还设有自动滤光装置，所述自动滤光装置包括灰度检测模块、控制模块和滤光片。所述方法为利用本发明检出系的自动调节灰度方法，本发明的自动调节灰度的检出系及方法，通过在检出镜头形成基板对位图像的光路上自动追加滤光片，可以自动改变基板对位图像的灰度，从而提高检出系的自动化程度。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 调节 灰度 检出 方法 | ||
【主权项】：
一种自动调节灰度的检出系，包括检出镜头，所述检出镜头用于采集掩膜版上的掩膜对位标记和玻璃基板上的基板对位标记的图像形成掩膜对位图像和基板对位图像，其特征在于，在检出镜头形成基板对位图像的光路上还设有自动滤光装置4，所述自动滤光装置4包括灰度检测模块、控制模块和滤光片；所述灰度检测模块用于检测检出镜头形成的基板对位图像的灰度；所述控制模块用于根据灰度检测模块检测到的基板对位图像的灰度追加或去除滤光片；所述滤光片用于滤掉光路中的部分光线，降低基板对位图像的灰度。
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