[发明专利]基板检查装置及基板检查装置用透射照明装置有效
| 申请号： | 201310203730.7 | 申请日： | 2013-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN103543158B | 公开（公告）日： | 2016-11-02 |
| 发明（设计）人： | 桥本丰之;永井正道;平出雅人;纲泽义夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明是有关于一种基板检查装置及基板检查装置用透射照明装置，该基板检查装置可防止来自红外光源的红外光不透射过基板便入射至相机，从而可准确地检查基板。以电荷耦合器件相机的红外光源的视野被电荷耦合器件相机的基板的视野覆盖的方式设定红外光源的形状及配置。而且，借助菲涅耳透镜的作用，使从配置在红外光源的端缘附近的发光二极管元件出射的红外光的照射角度偏向基板的端缘方向。此外，使基板的端缘区域上的从红外光源照射至基板的红外光的强度，大于基板的中央部上的该红外光的强度。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 透射 照明 | ||
【主权项】：
一种基板检查装置，相对于由基板支撑部支撑的基板的主面而在互为相反的侧设置相机与红外光源，且通过所述相机测定从所述红外光源照射并透射过所述基板的红外光来检查所述基板，其特征在于：将所述红外光源的形状及配置设为所述相机的所述红外光源的视野利用所述相机的所述基板的视野而被覆盖的构成，并且所述基板检查装置包括指向性调整设备，所述指向性调整设备使从所述红外光源照射至所述基板的红外光的照射方向朝向所述基板的端缘方向。
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