[发明专利]电子器件的生产管理装置及生产管理系统

摘要

本发明提供电子器件的生产管理装置及生产管理系统。本生产管理装置使用将电子器件的构成要素的制造条件值与制造的构成要素的特性相互关联起来的数据库，生成模型函数，决定第1制造条件值。使用利用决定的第1制造条件值实际形成构成要素时的特性的测定值，计算平方预测误差。在平方预测误差大于基准值时，不修正模型函数而将第1制造条件值作为接下来的电子器件的第2制造条件值。在平方预测误差小于等于基准值时，使用追加了实际形成时的值的数据库来生成第2模型函数，根据第2模型函数决定第2制造条件值。

主权项

电子器件的生产管理装置，实施如下处理：使用第1数据库生成第1模型函数的处理，其中，上述第1数据库将与电子器件中所含的构成要素有关的制造条件值、与包含使用上述制造条件值制造的情况的与上述构成要素的厚度有关的值及与尺寸有关的值之中的至少任一个的特性相互关联起来保存，上述第1模型函数与上述构成要素的特性相对于第1邻近条件值的关系有关，上述第1邻近条件值包括上述制造条件值之中的预先设定的第1处理条件值和与上述第1处理条件值接近的多个处理条件值；根据上述第1模型函数来决定用于得到上述构成要素的特性的第1制造条件值的处理；使用利用上述决定的上述第1制造条件值实际形成上述电子器件的上述构成要素时的上述第1制造条件值和上述构成要素的上述特性的测定值，计算上述特性的测定值的相对于上述第1模型函数的平方预测误差的处理；及在上述计算出的上述平方预测误差大于预先设定的基准值时，不修正上述第1模型函数而将上述第1制造条件值作为接下来的上述电子器件的第2制造条件值，在上述计算出的上述平方预测误差小于等于上述基准值时，使用追加了上述实际形成时的上述第1制造条件值和上述构成要素的上述特性的上述测定值的上述第1数据库来生成第2模型函数，根据上述第2模型函数来决定用于得到上述构成要素的特性的第2制造条件值的处理，在变更上述电子器件的规格时，还实施如下处理：使与上述规格的变更相伴随的上述构成要素的上述特性的变化加以反映地、通过比例运算来变换上述第1数据库的值，生成虚拟数据库。