[发明专利]工件研磨装置有效

专利信息
申请号: 201310239057.2 申请日: 2013-06-17
公开(公告)号: CN103506935B 公开(公告)日: 2017-12-22
发明(设计)人: 两角洋一;小山晴道;粕尾学;和田昌树 申请(专利权)人: 不二越机械工业株式会社
主分类号: B24B37/04 分类号: B24B37/04;B24B37/27;B24B37/34;H01L21/304
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277 代理人: 刘新宇,张会华
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种工件研磨装置包括具有顶面的研磨板,研磨布贴附于该顶面,并且研磨板能够在水平面转动;设置于研磨板上方并且能够上下移动和在水平面转动的顶环,顶环能够对位于研磨板和顶环之间的承载板施压,承载板将工件保持在底面,以将工件压在研磨板上;以及设置于顶环的止动件,止动件在研磨位置止挡并保持载置在研磨板上并且通过转动研磨板而移动到顶环的下侧的承载板。
搜索关键词: 工件 研磨 装置
【主权项】:
一种工件研磨装置,其包括:研磨板,所述研磨板具有顶面,研磨布贴附于所述顶面,并且所述研磨板能够在水平面转动;顶环,所述顶环设置于所述研磨板的上方并且能够上下移动和在水平面转动,所述顶环能够对位于所述研磨板和所述顶环之间的承载板施压,所述承载板将工件保持在底面,以将所述工件压到所述研磨板上;以及止动件,所述止动件设置于所述顶环,所述止动件在研磨位置止挡并保持载置在所述研磨板上并且通过转动所述研磨板而移动到所述顶环的下侧的所述承载板,所述止动件为环形并且从所述顶环的下边缘向下突出,所述止动件具有进入部和保持部,其中,所述承载板从所述进入部移动到所述顶环的下侧,所述保持部位于所述进入部的相反侧并且止挡和保持所述承载板,所述进入部的突出长度小于所述保持部的突出长度,以及所述承载板经由所述进入部的底面和所述研磨板之间的间隙移动到所述顶环的下侧,并且在所述顶环向下移动直到达到从所述研磨板起的规定高度时通过所述保持部止挡和保持所述承载板,所述进入部和所述保持部之间的台阶形壁面形成为以如下方式倾斜的倾斜面:越向所述止动件的外边缘去,所述倾斜面越向与所述承载板的旋转方向相反的方向去,所述进入部、所述台阶形壁面和所述保持部三者连续地设置于所述顶环的下边缘。
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