[发明专利]一种谐振子的制备方法、谐振子、滤波器件、电磁设备在审

专利信息
申请号: 201310254360.X 申请日: 2013-06-24
公开(公告)号: CN104241802A 公开(公告)日: 2014-12-24
发明(设计)人: 不公告发明人 申请(专利权)人: 深圳光启创新技术有限公司
主分类号: H01P11/00 分类号: H01P11/00;H01P7/10;H01P1/205
代理公司: 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 代理人: 任葵
地址: 518034 广东省深圳市福田*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种谐振子的制备方法、谐振子、滤波器件、电磁设备。其中所述一种谐振子的制备方法包括:将介质谐振子置于蒸发镀设备中;将所述蒸发镀设备抽真空到预定气压值;使镀膜靶材升温蒸发,使沉积在所述介质谐振子上的镀膜层达到指定厚度,得到谐振子。在本发明的具体实施方式中,由于采用蒸发镀技术,在介质谐振子上镀膜(如镀银),避免了电镀时将介质谐振子放入电镀液中因其吸水而影响性能,避免了电镀时对环境的污染,同时本发明的方法不仅可实现对镀膜层厚度的控制,还解决了磁控溅射镀膜时,成膜速率慢的问题,且镀膜靶材利用率高,可避免浪费材料。
搜索关键词: 一种 谐振子 制备 方法 滤波 器件 电磁 设备
【主权项】:
一种谐振子的制备方法,其特征在于,包括:将介质谐振子置于蒸发镀设备中;将所述蒸发镀设备抽真空到预定气压值;使镀膜靶材升温蒸发,使沉积在所述介质谐振子上的镀膜层达到指定厚度,得到谐振子。
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