[发明专利]展平装置及磁控溅射卷绕镀膜设备有效
申请号: | 201310255834.2 | 申请日: | 2013-06-25 |
公开(公告)号: | CN103320759A | 公开(公告)日: | 2013-09-25 |
发明(设计)人: | 李晨光 | 申请(专利权)人: | 南昌欧菲光科技有限公司;深圳欧菲光科技股份有限公司;苏州欧菲光科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/56 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 邓云鹏 |
地址: | 330000 江西省*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 一种展平装置,包括展平辊,展平辊呈中空密闭状且充入气体后可膨胀,展平辊设有旋转轴,还包括气管、充气泵和动力装置;气管的一端与展平辊连通,充气泵的一端与气管的另一端连通,气体通过气管进入展平辊,动力装置的输出端通过旋转轴与展平辊连接,带动展平辊转动;上述展平装置工作时,动力装置使展平辊连续地旋转;充气泵通过气管向展平辊内充入气体,展平辊充入气体后膨胀;在镀膜的过程中,柔性基材周期性地由放卷装置放卷,收卷装置收卷,充入气体后膨胀的展平辊连续地旋转且直接与柔性基材接触,对柔性基材产生压力,可防止柔性基材在镀膜过程中产生皱褶,提高生产良率及质量。同时提供一种应用改展平装置的磁控溅射卷绕镀膜设备。 | ||
搜索关键词: | 平装 磁控溅射 卷绕 镀膜 设备 | ||
【主权项】:
一种展平装置,其特征在于,包括:展平辊,所述展平辊呈中空密闭状且充入气体后可膨胀,所述展平辊内部设有旋转轴,且所述旋转轴的轴向长度大于所述展平辊的轴向长度;气管,所述气管的一端与所述展平辊连通;充气泵,所述充气泵的一端与所述气管的另一端连通,气体通过所述气管进入所述展平辊;动力装置,所述动力装置的输出端通过所述旋转轴与所述展平辊连接,带动所述展平辊旋转。
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