[发明专利]一种用于全向连接的金属电容及布图方法有效

专利信息
申请号: 201310259441.9 申请日: 2013-06-26
公开(公告)号: CN103337491A 公开(公告)日: 2013-10-02
发明(设计)人: 张昊;杨丽琼 申请(专利权)人: 中国科学院计算技术研究所
主分类号: H01L23/522 分类号: H01L23/522;H01L23/528;H01L21/768
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 祁建国;梁挥
地址: 100190 北*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种金属电容,包括奇数层和偶数层上下两层插指电容,奇数层的上部和下部分别包括横向走线和多个插指,且该多个插指上下交错,偶数层的上部和下部分别包括横向连接走线和多个插指,且该多个插指上下交错,在上下交错的插指之间,还包括一连续蛇形走线,该蛇形走线位于插指之间,蛇形走线的两端分别连接一竖向连线;偶数层的多个插指与上下对应的奇数层的多个插指左右相互偏移一个单位,偶数层的蛇形走线与上下对应的奇数层的蛇形走线左右相互偏移一个单位。利用金属的寄生电容效应,增大相邻金属层的层叠面积,能够在有限的面积里获得尽可能大的电容,有效增大单位面积金属电容。
搜索关键词: 一种 用于 全向 连接 金属 电容 方法
【主权项】:
一种金属电容,包括奇数层和偶数层上下两层插指电容,其特征在于,奇数层和偶数层分别包括上部和下部,其中,奇数层的上部和下部分别包括横向走线和多个插指,且该多个插指上下交错,在上下交错的插指之间,还包括一连续蛇形走线,该蛇形走线位于插指之间,与插指等距离,并在插指的端部弯折相连,弯折相连部分与横向走线平行,且蛇形走线的两端分别连接一竖向连线;偶数层的上部和下部分别包括横向连接走线和多个插指,且该多个插指上下交错,在上下交错的插指之间,还包括一连续蛇形走线,该蛇形走线位于插指之间,与插指等距离,并在插指的端部弯折相连,弯折相连部分与横向走线平行,且蛇形走线的两端分别连接一竖向连线;偶数层的多个插指与上下对应的奇数层的多个插指左右相互偏移一个单位,偶数层的蛇形走线与上下对应的奇数层的蛇形走线左右相互偏移一个单位。
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