[发明专利]测试结构序列号的设计方法及测试结构序列号在审
| 申请号： | 201310261361.7 | 申请日： | 2013-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN104253112A | 公开（公告）日： | 2014-12-31 |
| 发明（设计）人： | 宝志强 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;G06F17/50 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种测试结构序列号的设计方法及测试结构序列号，所述测试结构序列号是由多个已知符合设计规则的辅助图形（dummy pattern）或者辅助图形排列的间隙形成，因此能够避免使用多个多边形进行叠加组合时形成的图案不合规则的问题，从而降低甚至避免了对待测器件的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 结构 序列号 设计 方法 | ||
【主权项】：
一种测试结构序列号的设计方法，所述测试结构序列号设置于测试区域，其特征在于，包括：选择多个辅助图形，所述辅助图形符合设计规则；利用所述辅助图形或者辅助图形排列的间隙形成所述测试结构序列号。
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