[发明专利]一种金属与金属碳化物叠加的复合涂层的制备方法

摘要

本发明涉及一种金属与金属碳化物叠加的复合涂层的制备方法，主要针对C/C复合材料的超高温防护，设计了一种低应力的交替涂层结构，即将零件放入电弧离子镀设备真空室中，经抽真空、通氩气、加负偏压溅射清洗、交替通入保护气体或保护气体和反应气体的混合气、引弧、沉积涂层、断电、冷却等阶段后取出零件得到涂层，该涂层结构在2273～3473K可有效降低涂层中的应力，防止碳化钽涂层开裂，同时，提供的电弧离子镀方法，可在一个真空室中即可进行交替涂层的叠加沉积，无需转移零件，没有污染性产物排出，环境友好，涂层前的溅射清洗和沉积中附加的偏压，可有效提高结合力，沉积速率较高。本发明所述制备方法，其工艺和操作都十分简便，便于工业化生产。

主权项

一种金属与金属碳化物叠加的复合涂层的制备方法，其特征在于：通入氩气，真空度保持3×10‑1Pa～5×10‑1Pa，加热150℃～200℃，调节占空比0.5～0.8，负偏压200V～300V，将作为沉积源的金属靶材放在弧源位置上引燃，弧电流为150A～220A，沉积金属18min～25min后，关闭弧源，通入乙炔或甲烷气体，调节氩气，真空度保持3×10‑1Pa～5×10‑1Pa，引燃放在弧源位置上的金属靶材，弧电流为180A～220A，沉积金属碳化物18min～30min；所述金属靶材为金属钽、金属钼或金属钨，且金属钽、金属钼或金属钨的含量均在99.95%以上。