[发明专利]一种多腔室晶圆加工设备传输控制系统

摘要

本发明涉及一种多腔室晶圆加工设备传输控制系统，包括系统初始化模块、通信模块、传输任务处理模块、调度模块、执行模块、物料跟踪模块、错误与异常处理模块。本发明所提供的多腔室晶圆加工设备传输控制系统一方面实现了多腔室加工设备中晶圆传输控制的自动化过程，另一方面系统的各功能模块设计充分考虑到半导体装备制造过程中对物料传输过程的共性需求，且为传输设备和控制系统提供相应软件接口，对多腔室晶圆加工设备传输控制方法具有普遍的参考意义和二次开发价值。

主权项

一种多腔室晶圆加工设备传输控制系统，其特征在于，包括系统初始化模块，用于完成半导体制造设备控制系统、晶圆传输设备和该传输控制系统在开启时刻的初始化工作；错误与异常处理模块，用于在该传输控制系统运行过程中发生错误和异常情况的处理；通信模块，用于该传输控制系统与半导体制造设备控制系统、晶圆传输设备的信息交互；传输任务处理模块，接收通信模块收到的传输任务，并对所述传输任务的命令进行解析和合法性判定，将判定结果反馈给通信模块，再由通信模块反馈给半导体制造设备控制系统；传输任务调度模块，结合晶圆加工设备的当前情况依据与设备匹配的物料调度算法对任务的执行过程进行规划和调度，确定传输任务的执行方案；执行模块，用于所述传输任务的执行，即根据传输任务调度模块确定的执行方案与晶圆传输机械手、晶圆加工腔室互相配合完成物料的传输动作；物料跟踪模块，用于传输任务执行过程中晶圆的ID、状态、源地址、当前位置信息的更新存储；错误与异常处理模块，用于该传输控制系统运行过程中出现错误或异常情况时的处理，同时将错误或异常情况及相应处理情况反馈给通信模块，并由通信模块反馈给半导体制造设备控制系统。