[发明专利]电子产品金属表面PVD薄膜及其制备方法有效
申请号: | 201310281864.0 | 申请日: | 2013-07-05 |
公开(公告)号: | CN103305802A | 公开(公告)日: | 2013-09-18 |
发明(设计)人: | 刘茂立;王炜;王宏烈;孟淑文;陈世杰 | 申请(专利权)人: | 北京东明兴业科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/06;C23C14/14 |
代理公司: | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人: | 郑立明;赵镇勇 |
地址: | 北京市怀柔区雁*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种电子产品金属表面PVD薄膜及其制备方法,包括金属基材,金属基材的表面沉积有多层金属或金属化合物薄膜,薄膜的厚度为0.1-3μm。选取待加工产品作为基材,并进行预处理;利用磁控溅射镀膜机对预处理后的基材进行镀膜,首先在120-200℃温度下对基材进行烘烤;然后在7×10-3Pa以上的真空状态下对基材进行离子清洗,清洗时间设定为5min-10min,离子清洗时的真空度降至7×10-1Pa左右;离子清洗完毕后,在6.5×10-3Pa以上的真空状态下对基材进行镀膜,镀膜时的真空度降至2.3×10-1Pa左右。可以在金属表面镀制各种颜色,例如金黄色系列、黑色系列、银色、咖啡色、锖色、蓝色系列、紫色系列等,膜层牢固,颜色多样,可以进行批量生产。 | ||
搜索关键词: | 电子产品 金属表面 pvd 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种电子产品金属表面PVD薄膜及其制备方法,其特征在于,包括金属基材,所述金属基材的表面沉积有多层金属或金属化合物薄膜,所述薄膜的厚度为0.1‑3μm。
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