[发明专利]硅片放置架

摘要

本发明公开了一种硅片放置架，旨在提供一种硅片清洗、镀镍、光刻等各工序专用的放置架。它包括两块竖直设置且位置相对应的板块，用于固定连接板块的连接件，所述连接件和板块构成该硅片放置架的主体；其还包括竖直固定连接于硅片放置架主体上端的提手；所述板块的相对面设置有若干按一定形式排列的两两相对的竖直凹槽，该竖直凹槽的下端呈与硅片边缘形状相应的向内的圆弧，所述板块间两两相对的竖直凹槽的槽底的距离与硅片的直径相应；硅片放入竖直凹槽后，竖直凹槽下端的圆弧与硅片的边缘贴合形成支撑，且板块的下端超出硅片的边缘。本发明适用于硅片的批量加工使用。

主权项

一种硅片放置架，其特征在于：包括两块竖直设置且位置相对应的板块（1），用于固定连接板块（1）的连接件（2），所述连接件（2）和板块（1）构成该硅片放置架的主体，其还包括竖直固定连接于硅片放置架主体上端的提手（3）；所述板块（1）的相对面设置有若干按一定形式排列的两两相对的竖直凹槽（31），该竖直凹槽（31）的下端呈与硅片边缘形状相应的向内的圆弧（32），所述板块（1）间两两相对的竖直凹槽（31）的槽底的距离与硅片的直径相应；硅片放入竖直凹槽（31）后，竖直凹槽（31）下端的圆弧（32）与硅片的边缘贴合形成支撑，且板块（1）的下端超出硅片的边缘。