[发明专利]有机层沉积设备、有机发光显示装置及其制造方法

摘要

本发明提供了一种有机层沉积设备、一种利用该有机层沉积设备制造有机发光显示装置的方法和一种利用该方法制造的有机发光显示装置，具体地讲，本发明提供了一种适用于在大基底的批量生产中使用的以及能够高清晰度地图案化的有机层沉积设备、利用该有机层沉积设备制造有机发光显示装置的方法以及利用所述方法制造的有机发光显示装置，所述有机层沉积设备包括：输送单元，包括传送单元、第一输送单元和第二输送单元；以及沉积单元，包括在真空状态下的室以及用于沉积有机层的至少一个有机层沉积组件，传送单元包括：运送器，包括无接触式电源模块；和静电卡盘，固定地结合到运送器，传送单元被构造为在第一输送单元和第二输送单元之间循环。

主权项

一种有机层沉积设备，所述有机层沉积设备包括：输送单元，包括用于固定基底并且被构造为与所述基底一起移动的传送单元、用于将其上固定有基底的传送单元沿第一方向移动的第一输送单元和用于在已经完成沉积之后将基底从其分开的传送单元沿与第一方向相反的方向移动的第二输送单元；以及沉积单元，包括保持在真空状态下的室以及用于在固定在传送单元上的基底上沉积有机层的至少一个有机层沉积组件，传送单元包括：运送器，包括无接触式电源模块；和静电卡盘，固定地结合到运送器以固定基底，传送单元被构造为在第一输送单元和第二输送单元之间循环，固定在传送单元上的基底被构造为在被第一输送单元传送的同时与有机层沉积组件分隔开设定距离。