[发明专利]气体净化装置

摘要

本发明提供一种气体净化装置，包括密封鼓风源（100），其具有：具有从外部被隔开的内部空间的密封壳体（101）、经由气体流入口（104）将惰性气体从外部导入内部空间的开放放出部（105）、冷却该密封壳体（101）的内部空间的冷却管（103）、收纳于该密封壳体（101）的内部并将被冷却管（101）冷却的惰性气体送出的涡流鼓风机（102）、将来自涡流鼓风机（102）的惰性气体经由送气部（106）向外部供给的气体流出口（107）。通过在该密封鼓风源（100）的上游侧配置前置过滤器（201），在下游侧依次配置热交换器（300）和HEPA过滤器（202），在防止异物混入和大气侵入的同时进行惰性气体的净化和冷却。

主权项

一种气体净化装置，其特征在于，包括密封鼓风源，该密封鼓风源具有：密封壳体，具有从外部被隔开的内部空间；气体导入部，将被过滤器净化的气体导入到所述内部空间；鼓风机，收纳于所述密封壳体内，将从所述内部空间吸入的所述气体送出；冷却机构，以覆盖所述鼓风机的周围的方式配置，冷却所述内部空间；气体导出部，将所述鼓风机送出的所述气体向外部导出。