[发明专利]利用光二聚化学作用的光致抗蚀剂和使用该光致抗蚀剂的有机发光二极管显示器的制造方法有效
| 申请号： | 201310292187.2 | 申请日： | 2013-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN103852974A | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 李镇均;金英美;尹钟根;许峻瑛;都义斗;李妍景;金秀炫 | 申请（专利权）人： | 乐金显示有限公司;仁荷大学博物馆产学协力团 |
| 主分类号： | G03F7/09 | 分类号： | G03F7/09;G03F7/004;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 庞东成;解延雷 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及利用光二聚化学作用的光致抗蚀剂和使用该光致抗蚀剂的有机发光二极管显示器的制造方法。本发明的光致抗蚀剂为高度氟化的光致抗蚀剂，包含由两种不同的单体所形成的共聚物。当该共聚物用作光致抗蚀剂时，所述光致抗蚀剂具有以下特性：当用波长为365nm的紫外光进行曝光时，其变得不溶。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 光二聚 化学 作用 光致抗蚀剂 使用 有机 发光二极管 显示器 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光致抗蚀剂用共聚物，所述共聚物通过包括以下步骤的方法形成：提供由式(1)表示的第一单体和由式(2)表示的第二单体：![]()
由所述第一单体和所述第二单体形成所述共聚物，其中，x:y是所述第一单体与所述第二单体的比率，并且x:y选自x:y=1:0.1至x:y=1:1的范围。
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