[发明专利]有机物沉积装置在审
| 申请号： | 201310292706.5 | 申请日： | 2013-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN103789731A | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | 金学民 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12;H05B33/10;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 齐葵;周艳玲 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明的有机物沉积装置，用于沉积有机物，包括工艺腔室、第一输送轨道、第二输送轨道、至少一个掩模组合体、至少一个基板组合体及至少一个沉积源。所述第一输送轨道及所述第二输送轨道分别配置在所述工艺腔室的内部，所述第二输送轨道与所述第一输送轨道隔开并配置在所述第一输送轨道的上部。所述掩模组合体与所述第一输送轨道结合并沿着所述第一输送轨道输送，所述基板组合体与基板及所述第二输送轨道结合并沿着所述第二输送轨道输送。而且，所述沉积源配置在所述工艺腔室的内部并向所述掩模组合体及所述基板组合体侧提供所述有机物。 | ||
| 搜索关键词： | 有机物 沉积 装置 | ||
【主权项】：
一种有机物沉积装置，用于在基板上沉积有机物，包括：工艺腔室；第一输送轨道，配置在所述工艺腔室的内部；第二输送轨道，在所述工艺腔室的内部配置在所述第一输送轨道的上部，并与所述第一输送轨道隔开；至少一个掩模组合体，与所述第一输送轨道结合并沿所述第一输送轨道输送；至少一个基板组合体，与所述基板及所述第二输送轨道结合并沿所述第二输送轨道输送；及至少一个沉积源，配置在所述工艺腔室的内部，并向所述掩模组合体及所述基板组合体侧提供所述有机物。
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