[发明专利]一种高致密度大尺寸AZO靶材坯体的成型工艺有效
| 申请号： | 201310297639.6 | 申请日： | 2013-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN103332929A | 公开（公告）日： | 2013-10-02 |
| 发明（设计）人： | 牟诗城;舒永春;韩凌云;曾学云 | 申请（专利权）人： | 国家纳米技术与工程研究院 |
| 主分类号： | C04B35/453 | 分类号： | C04B35/453;C04B35/622 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300457 天津市经*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种高致密度大尺寸AZO靶材坯体的成型工艺，其首先将ZnO和Al2O3超微粉混合造粒后，加去离子水、分散剂、固化剂和表面活性剂进行混合制浆，注入模具内成型，经过干燥、脱蜡后，得到相对密度为65％-75％的高密度大尺寸的AZO靶材坯体。本发明所制备的AZO靶材成型密度高，组织均匀性好，易制备出大尺寸AZO靶材，且成型坯体均匀性好。其工艺操作简单，易于控制，适合工业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 致密 尺寸 azo 靶材坯体 成型 工艺 | ||
【主权项】：
一种高致密度大尺寸AZO靶材坯体的成型方法，其包括以下步骤：首先将ZnO和Al2O3超微粉混合造粒后，加去离子水、分散剂、固化剂和表面活性剂进行混合制浆，注入模具内成型，经过干燥、脱蜡后，得到相对密度为65％‑75％的高密度大尺寸的AZO靶材坯体。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于国家纳米技术与工程研究院，未经国家纳米技术与工程研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310297639.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种导叶体油孔加工方法
- 下一篇：一种基于惯性测量单元的坐标失配测量方法
