[发明专利]输片协作的多个机器人设备的调度方法及系统有效
| 申请号： | 201310311790.0 | 申请日： | 2013-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN103399543A | 公开（公告）日： | 2013-11-20 |
| 发明（设计）人： | 徐华;袁源;高士云 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 张大威 |
| 地址： | 100084 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提出一种输片协作的多个机器人设备的调度方法及系统，其中，方法包括以下步骤：接收多个机器人设备的待处理任务；对多个机器人设备进行配置，并生成配置信息；根据配置信息、多个机器人设备的拓扑结构、路径列表和晶圆列表生成对多个机器人设备进行有序调度的调度序列；以及根据调度序列和多个机器人设备的待处理任务对多个机器人设备进行调度控制，使多个机器人设备协同完成待处理任务。根据本发明实施例的方法，实现了对输片协作机器人设备特征、生产路径及所需加工晶圆信息的灵活配置，同时提高了机器人设备的工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 协作 机器人 设备 调度 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种输片协作的多个机器人设备的调度方法，其特征在于，包括以下步骤：接收所述多个机器人设备的待处理任务；对所述多个机器人设备进行配置，并生成配置信息；根据所述配置信息、所述多个机器人设备的拓扑结构、路径列表和晶圆列表生成对所述多个机器人设备进行有序调度的调度序列；以及根据所述调度序列和所述多个机器人设备的待处理任务对所述多个机器人设备进行调度控制，使所述多个机器人设备协同完成所述待处理任务。
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