[发明专利]一种乙醇蒸汽辅助半导体/面板生产中有机废气回收装置有效
申请号: | 201310317812.4 | 申请日: | 2013-07-24 |
公开(公告)号: | CN103418206A | 公开(公告)日: | 2013-12-04 |
发明(设计)人: | 梁小朝;黄源;尹云舰;连杰;龚升 | 申请(专利权)人: | 杭州格林达化学有限公司 |
主分类号: | B01D53/00 | 分类号: | B01D53/00 |
代理公司: | 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 | 代理人: | 王利强 |
地址: | 310051 浙江省杭州市萧*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种乙醇蒸汽辅助半导体/面板生产中有机废气回收装置,包括除水器、乙醇蒸发器、回收塔和乙醇吸收装置,所述回收塔自上而下依次设置除雾层、吸收液喷洒层、吸收层和回收槽,所述除水器的进口为有机废气入口,所述除水器的出口、乙醇蒸发器的出口均与所述吸收层连通,所述回收塔的上部的出气口与所述乙醇吸收装置连接,所述回收槽的底部与排出管连接,所述排出管上安装阀门。本发明提供了一种节省成本、降低能耗的乙醇蒸汽辅助半导体/面板生产中有机废气回收装置。 | ||
搜索关键词: | 一种 乙醇 蒸汽 辅助 半导体 面板 生产 有机 废气 回收 装置 | ||
【主权项】:
一种乙醇蒸汽辅助半导体/面板生产中有机废气回收装置,其特征在于:所述有机废气回收装置包括除水器、乙醇蒸发器、回收塔和乙醇吸收装置,所述回收塔自上而下依次设置除雾层、吸收液喷洒层、吸收层和回收槽,所述除水器的进口为有机废气入口,所述除水器的出口、乙醇蒸发器的出口均与所述吸收层连通,所述回收塔的上部的出气口与所述乙醇吸收装置连接,所述回收槽的底部与排出管连接,所述排出管上安装阀门。
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