[发明专利]等离子体处理装置的冷却液处理系统及方法在审
| 申请号： | 201310332796.6 | 申请日： | 2013-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN104347338A | 公开（公告）日： | 2015-02-11 |
| 发明（设计）人： | 李财;袁群艺;倪图强 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/02 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;林彦之 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明等离子体处理装置的冷却液处理系统及方法，通过增加一冷却液处理单元，其包括位于供液管道和/或回液管道上的一个或多个控制阀，用于当第一隔离装置关闭时，通过一个或多个控制阀的启闭配合，以去除冷却液通道、供液管道和/或回液管道中的残留冷却液。因此，本发明等离子体处理装置的冷却液处理系统及方法，在不对原有设备装置产生大的改动情况下，能预先去除冷却液通道、供液管道和/或回液管道中的冷却液，便于维修或更换等离子体处理装置的冷却系统部件，不仅避免了冷却液的外漏及能量的浪费，还营造了整洁的工作环境，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 处理 装置 冷却液 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种等离子体处理装置的冷却液处理系统，包括：至少一个用于冷却等离子体处理装置基台和/或基片的冷却液通道；与所述冷却液通道相连的冷却液循环装置，其包括与所述冷却液通道入口端相连的供液管道以及与所述冷却液通道出口端相连的回液管道；分别布置于所述供液管道和回液管道上的第一隔离装置和第二隔离装置，其中，所述第一隔离装置用于控制所述供液管道的启闭，所述第二隔离装置用于控制所述回液管道的启闭；其特征在于，还包括冷却液处理单元，其包括位于所述供液管道和/或所述回液管道上的一个或多个控制阀，用于当所述第一隔离装置关闭时，通过所述一个或多个控制阀的启闭配合，以去除所述冷却液通道、供液管道和/或回液管道中的残留冷却液。
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