[发明专利]蒸镀装置及蒸镀方法

摘要

在水平蒸镀型的有机EL膜成膜用蒸镀装置中，极力降低蒸镀源的无意义的蒸镀时间。有机EL膜成膜用的蒸镀装置具备：配置有真空机器人的机器人搬送室；与该机器人搬送室连接的2个蒸镀室；能够放置2张基板且水平收放在蒸镀室内的分度工作台；使分度工作台在水平方向上旋转的旋转单元；以及位于分度工作台的下方，能够在水平方向上移动地配置的蒸镀源。真空机器人能够在蒸镀室与机器人搬送室之间在水平方向搬入、搬出基板，在使用蒸镀源对放置在分度工作台上的2张基板中的一方进行蒸镀时，利用真空机器人将另一方的基板从蒸镀室搬出到机器人搬送室，取而代之将新的基板从机器人搬送室搬入蒸镀室。蒸镀结束后，旋转分度工作台。

主权项

一种蒸镀装置，其为有机EL膜成膜用的蒸镀装置，并具备：配置有真空机器人的机器人搬送室；隔着闸阀与该机器人搬送室连接的1个或2个蒸镀室；能够放置多张基板且水平收放在所述蒸镀室内的分度工作台；使该分度工作台在水平方向上旋转的旋转机构；以及位于所述分度工作台的下方且与所述多张基板中的一张基板对置，能够在水平方向上移动地配置的蒸镀源，该蒸镀装置的特征在于，所述真空机器人能够在所述蒸镀室与所述机器人搬送室之间在水平方向上搬入、搬出基板，在使用所述蒸镀源对放置在所述分度工作台上的多张基板中的一张基板进行蒸镀时，使用所述真空机器人将另一张基板从所述蒸镀室搬出到所述机器人搬送室，取而代之将新的基板从所述机器人搬送室搬入所述蒸镀室。