[发明专利]蒸发源、真空蒸镀装置以及有机EL显示装置制造方法无效
| 申请号： | 201310339461.7 | 申请日： | 2013-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN103710667A | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 三宅龙也;松浦宏育;峰川英明;矢崎秋夫;尾方智彦;山本健一;楠敏明;玉腰武司 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;F27B14/04;H05B33/10 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 钟晶;於毓桢 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明是提供一种蒸发源、真空蒸镀装置以及有机EL显示装置制造方法，使用能够降低热辐射、能够节电化的蒸发源，能够与大型基板对应，高速形成以铝材料为主的金属薄膜，连续成膜。作为解决本发明课题的方法涉及在使用陶瓷制的坩锅的蒸发源中，通过使夹着凸缘部那样设置热反射构件，有效地阻断沿凸缘部流出的热。其结果是能够用少的电力有效地加热坩锅，另外能够防止凸缘部的温度上升，防止攀缘。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 真空 装置 以及 有机 el 显示装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种蒸发源，其特征在于，具有：坩锅，其收纳蒸发材料；坩锅出口，用于放出收容在该坩锅内的蒸发材料的蒸气；热反射构件，其设置成包围该坩锅出口的至少一部分；和加热器，其设置成包围该坩锅的外侧壁。
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