[发明专利]薄膜晶体管及其制造方法有效
| 申请号： | 201310342961.6 | 申请日： | 2013-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN103413835A | 公开（公告）日： | 2013-11-27 |
| 发明（设计）人： | 黄彦余;张锡明 | 申请（专利权）人： | 华映视讯（吴江）有限公司;中华映管股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/336 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 胡晶 |
| 地址： | 215217 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种薄膜晶体管的制造方法包括下列步骤：提供基板；形成栅极于基板；形成第一源极于基板；形成信道，其中信道的一端与第一源极接触；形成阻挡层，阻挡层至少覆盖信道与第一源极接触的一端且暴露出信道的另一端；形成漏极，漏极与信道的另一端接触。此外，一种利用上述方法所制作的薄膜晶体管亦被提出。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种薄膜晶体管的制造方法,其特征在于，包括：提供一基板；形成一栅极于该基板；形成一第一源极于该基板；形成一信道，该信道的一端与该第一源极接触；形成一阻挡层，该阻挡层至少覆盖该信道与该第一源极接触的该端且暴露出该信道的另一端；以及形成一漏极，该漏极与该信道的该另一端接触。
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