[发明专利]半导体装置有效

专利信息
申请号: 201310345075.9 申请日: 2013-08-09
公开(公告)号: CN104347709B 公开(公告)日: 2018-09-04
发明(设计)人: 廖晋毅;陈俊宇 申请(专利权)人: 联华电子股份有限公司
主分类号: H01L29/78 分类号: H01L29/78;H01L29/06
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 陈小雯
地址: 中国台湾新竹*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明公开一种半导体装置,其包括至少二鳍状结构、栅极结构、至少二外延结构以及硅盖层。鳍状结构设置于基底上,且栅极结构覆盖鳍状结构。外延结构均设置于栅极结构的一侧,且各自直接接触各鳍状结构,其中外延结构间互相分离。硅盖层同时包覆外延结构。
搜索关键词: 半导体 装置
【主权项】:
1.一种半导体装置,包括:至少二鳍状结构,设置于一基底上;栅极结构,覆盖该些鳍状结构;至少二外延结构,均设置于该栅极结构的一侧,且各自直接接触各该鳍状结构,其中该些外延结构为互相分离;以及硅盖层,同时包覆该些外延结构,其中,相邻的硅盖层产生合并。
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