[发明专利]半导体装置有效
申请号: | 201310345075.9 | 申请日: | 2013-08-09 |
公开(公告)号: | CN104347709B | 公开(公告)日: | 2018-09-04 |
发明(设计)人: | 廖晋毅;陈俊宇 | 申请(专利权)人: | 联华电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L29/06 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 陈小雯 |
地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开一种半导体装置,其包括至少二鳍状结构、栅极结构、至少二外延结构以及硅盖层。鳍状结构设置于基底上,且栅极结构覆盖鳍状结构。外延结构均设置于栅极结构的一侧,且各自直接接触各鳍状结构,其中外延结构间互相分离。硅盖层同时包覆外延结构。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
【主权项】:
1.一种半导体装置,包括:至少二鳍状结构,设置于一基底上;栅极结构,覆盖该些鳍状结构;至少二外延结构,均设置于该栅极结构的一侧,且各自直接接触各该鳍状结构,其中该些外延结构为互相分离;以及硅盖层,同时包覆该些外延结构,其中,相邻的硅盖层产生合并。
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