[发明专利]一种金属掩膜板集成装配检测中心

摘要

本发明公开了一种金属掩膜板集成装配检测中心，包括激光焊接装置、激光切割装置、绷网组件、精度测量装置、下垂量测量装置、机台、运动导轨，本发明提供的高精度金属掩膜板集成装配检测中心，具有5种核心功能：激光焊接、激光切割、自动绷网、精度测量、下垂量测量，采用本发明的金属掩膜板集成装配检测中心可避开原来复杂冗长的工艺链，只有激光切割一道工艺会对精度产生影响，使产品精度易于控制，过程简化。

主权项

一种金属掩膜板集成装配检测中心，包括激光焊接装置、激光切割装置、绷网组件、精度测量装置、下垂量测量装置、机台、运动导轨，其特征在于，所述绷网组件固定安装在所述机台上，所述运动导轨包括Y轴导轨和X轴导轨以及Z轴导轨，所述Y轴导轨固定安装在所述机台上，所述X轴导轨安装在所述Y轴导轨上，可在所述Y轴导轨上进行Y轴方向的运动，所述Z轴导轨安装在所述X轴导轨上，所述Z轴导轨可以在X轴导轨上进行运动，所述激光焊接装置、激光切割装置、精度测量装置、下垂量测量装置固定直接或间接安装在所述Z轴导轨上，既可随Z轴导轨在X轴导轨、Y轴导轨上进行X、Y轴向的运动，也可以在Z轴导轨上做Z轴方向的运动。