[发明专利]一种用于光刻胶瓶的导管有效
申请号: | 201310354757.6 | 申请日: | 2013-08-14 |
公开(公告)号: | CN103400785A | 公开(公告)日: | 2013-11-20 |
发明(设计)人: | 徐纯;林晓瑜;刘开来 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 陆花 |
地址: | 201203 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种用于光刻胶瓶的导管,包括:主导管装置,进一步包括一体成型的卡扣端和导管端,卡扣端上间隔设置环形凹槽,导管端之紧邻卡扣端一侧设置光阻管路接口,导管端之异于光阻管路接口一侧设置光阻入口;护管装置,进一步包括独立设置并可通过螺旋方式连接的卡扣端护管和导管端护管,卡扣端护管包括柱状壳体以及分别设置在柱状壳体两侧的卡扣装置和光阻管路容置空间,卡扣装置与主导管装置之卡扣端对应设置。本发明用于光刻胶瓶的导管通过在主导管装置外侧设置护管装置,且主导管装置通过设置不同环形凹槽实现伸缩功能,不仅可以有效的避免所述光刻胶袋对所述导管的堵塞,防止光阻浪费,降低生产成本,而且实用性好、操作便利,推广性强。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 光刻 导管 | ||
【主权项】:
一种用于光刻胶瓶的导管,其特征在于,所述导管包括:主导管装置,所述主导管装置进一步包括一体成型的卡扣端和导管端,所述卡扣端上间隔设置环形凹槽,所述导管端之紧邻所述卡扣端一侧设置光阻管路接口,所述导管端之异于所述光阻管路接口一侧设置光阻入口;护管装置,所述护管装置进一步包括独立设置并可通过螺旋方式连接的卡扣端护管和导管端护管,所述卡扣端护管包括柱状壳体以及分别设置在所述柱状壳体两侧的卡扣装置和光阻管路容置空间,所述卡扣装置与所述主导管装置之卡扣端对应设置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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