[发明专利]激光加工装置有效
申请号: | 201310360764.7 | 申请日: | 2013-08-19 |
公开(公告)号: | CN103658976A | 公开(公告)日: | 2014-03-26 |
发明(设计)人: | 桐原直俊;相川力 | 申请(专利权)人: | 株式会社迪思科 |
主分类号: | B23K26/06 | 分类号: | B23K26/06;B28D5/00;B23K101/40 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 李辉;金玲 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供激光加工装置,其具有激光光线照射构件,激光光线照射构件具有:振荡出激光光线的激光光线振荡器;输出调整构件,其调整激光光线振荡器振荡出的激光光线的输出;聚光器,其使由输出调整构件调整后的激光光线会聚,对该卡盘台所保持的被加工物照射激光光线;1/2波长板,其配设在输出调整构件与聚光器之间;偏振角调整构件,其调整通过1/2波长板的激光光线的偏振角;以及控制构件,其控制偏振角调整构件,聚光器具有双折射透镜和聚光物镜,控制构件控制偏振角调整构件,调整通过1/2波长板的激光光线的偏振角,将经由双折射透镜并由聚光物镜会聚的激光光线的聚光点适当变更为两个的方式和一个的方式。 | ||
搜索关键词: | 激光 加工 装置 | ||
【主权项】:
一种激光加工装置,其具有:卡盘台,其保持被加工物;激光光线照射构件,其对该卡盘台所保持的被加工物照射激光光线;以及加工进给构件,其对该卡盘台和该激光光线照射构件相对地进行加工进给,该激光加工装置的特征在于,该激光光线照射构件具有:激光光线振荡器,其振荡出激光光线;输出调整构件,其调整该激光光线振荡器振荡出的激光光线的输出;聚光器,其使由该输出调整构件调整后的激光光线会聚,对该卡盘台所保持的被加工物照射激光光线;1/2波长板,其配设在该输出调整构件与该聚光器之间;偏振角调整构件,其调整通过该1/2波长板的激光光线的偏振角;以及控制构件,其控制该偏振角调整构件,该聚光器具有双折射透镜和聚光物镜,该控制构件控制该偏振角调整构件,调整通过该1/2波长板的激光光线的偏振角,将经由该双折射透镜并由该聚光物镜会聚的激光光线的聚光点适当变更为两个的方式和一个的方式。
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