[发明专利]图案形成装置以及图案形成方法在审
| 申请号： | 201310361890.4 | 申请日： | 2013-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN103628103A | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | 博伊科·斯托伊梅诺夫;山川和芳;铃木雅裕;松尾和昭 | 申请（专利权）人： | 株式会社捷太格特 |
| 主分类号： | C25D5/02 | 分类号： | C25D5/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李洋;苏琳琳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 发明的图案形成装置具备多个罐和电源装置。罐具有与形成有不同种类的皮膜的多个区域各自的轮廓形状相同形状的开口端，并在使这些开口端抵接于工件的表面W的状态下分别蓄积用于形成不同种类的皮膜的电沉积液。电源装置向作为第一电极的工件与多个罐内的第二电极的每一电极之间施加规定的电压。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 形成 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
一种图案形成装置，利用电沉积在工件的表面的多个区域形成不同种类的皮膜，并通过这些皮膜来获得规定的皮膜图案，所述图案形成装置的特征在于，具备：多个罐，它们具有与形成不同种类的皮膜的所述多个区域各自的轮廓形状为相同形状的开口端，并在使该开口端抵接于所述表面的状态下分别蓄积用于形成不同种类的皮膜的电沉积液；和电源装置，其向作为第一电极的所述工件与所述多个罐内的各个第二电极之间施加规定电压。
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