[发明专利]可调节的迈克尔逊型的干涉显微套筒装置有效
| 申请号： | 201310364091.2 | 申请日： | 2013-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN104422398A | 公开（公告）日： | 2015-03-18 |
| 发明（设计）人： | 马骏;谢佳丽;高志山;朱日宏;李闽珏;牟天予 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 朱显国 |
| 地址： | 210094 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可调节的迈克尔逊型的干涉显微套筒装置，包括套筒组件、连接件和俯仰倾斜二维调整架，连接件为中空圆柱体，两端内径相等，外径不同，在外径较小的一端通过螺纹固定在套筒组件的侧壁上，另一端通过螺纹与俯仰倾斜二维调整架连接。本装置结构简单，体积小，装调方便，适用性强，可应用在干涉显微镜中，为表面微观三维轮廓的高精度测量提供必要手段。 | ||
| 搜索关键词： | 调节 迈克 尔逊型 干涉 显微 套筒 装置 | ||
【主权项】：
一种可调节的迈克尔逊型的干涉显微套筒装置，其特征在于：包括套筒组件[26]、连接件[14]和俯仰倾斜二维调整架[25]，连接件[14]为中空圆柱体，两端内径相等，外径不同，在外径较小的一端通过螺纹固定在套筒组件[26]的侧壁上，另一端通过螺纹与俯仰倾斜二维调整架[25]连接。
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