[发明专利]一种碳基多层复合涂层制备方法

摘要

本发明属于材料表面涂层技术，具体涉及一种碳基多层复合涂层制备方法，采用碳基材料作为基体，在其上通过物理气相沉积制备含有中间层/钨涂层的多层复合涂层。碳基材料包含高纯石墨和碳/碳复合材料；多层复合涂层包括了1-3层中间层/钨涂层复合层。中间层包括铬层、钛层或钼层等。形成的碳基体表面全部钨涂层覆盖厚度均匀，涂层连续、致密，不会出现裂纹。钨涂层与基体之间的结合良好，界面平整；当涂层厚度达到20微米时，涂层与基体之间没有出现剥落情况。

主权项

一种碳基多层复合涂层制备方法，其特征在于，该方法包括如下步骤，1）基体预处理碳基材料作为基体，打磨抛光，清洗之后在100℃烘烤5～10h，然后在真空加热炉中800℃烘烤1～3h除气；2）将清洗好的工件安装固定，防止脱落；3）溅射沉积复合涂层，具体方法如下：a）将钨靶和中间层靶置于直流阴极上；b）真空抽至1.0×10^‑3～3.0×10^‑3Pa后，利用氩气等离子体对工件表面进行轰击清洗和活化，同时对基体进行加热，加热温度100～300℃；c）对基体表面施加负偏压，利用磁控溅射技术在基体表面沉积中间层，工作气压为0.5～0.8Pa，负偏压‑700～‑500V，电流为1.5～4A；d）转动工件，利用磁控溅射技术在中间层上沉积钨涂层，负偏压‑900～‑800V，电流为4～6A；形成多层复合涂层时，重复上述步骤步骤c）至步骤d），直到涂层厚度达到目标值。