[发明专利]单晶炉双加热器组合电极结构有效

专利信息
申请号: 201310368358.5 申请日: 2013-08-21
公开(公告)号: CN103590115A 公开(公告)日: 2014-02-19
发明(设计)人: 毛静;马少林;王福敏 申请(专利权)人: 西安隆基硅材料股份有限公司;无锡隆基硅材料有限公司;宁夏隆基硅材料有限公司;银川隆基硅材料有限公司
主分类号: C30B35/00 分类号: C30B35/00;C30B15/14
代理公司: 西安弘理专利事务所 61214 代理人: 罗笛
地址: 710100 陕西*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 单晶炉双加热器组合电极结构,包括与底部加热器电连接的第一外部电极和与主加热器电连接的第二外部电极,第一外部电极和第二外部电极共用一个冷却装置。第一外部电极与第二外部电极均为筒状且套装,第一外部电极与第二外部电极之间设有绝缘件;冷却装置包括冷却通道,冷却通道设置在位于内层的外部电极的内孔中。本发明将第一外部电极与第二外部电极集成于一体,两个电极共用一个冷却通道,可大幅度降低热量损耗,且结构简单、紧凑。
搜索关键词: 单晶炉双 加热器 组合 电极 结构
【主权项】:
单晶炉双加热器组合电极结构,其特征在于:包括与底部加热器电连接的第一外部电极(11)、与主加热器电连接的第二外部电极(12)以及位于第一外部电极(11)与第二外部电极之间(12)的绝缘件,所述第一外部电极(11)和所述第二外部电极(12)共用一个冷却通道(123)。
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